SF6氣體回收裝置的真空泵。

  （1）真空度不高的原因和消除方法

  SF6氣體回收裝置真空泵出口檢查，全壓強(qiáng)不高，旋去加油塞無(wú)明顯漏氣聲，可能存放不當(dāng)，有水汽進(jìn)入泵內(nèi)，應(yīng)更換新油。

  無(wú)漏氣聲，換油無(wú)效，應(yīng)檢查閥座上小油孔是否堵塞，小孔位置在泵的短閥片處月形槽內(nèi)。

  接入系統(tǒng)后真空度不高，可能是系統(tǒng)接頭，管道閥門(mén)，各類(lèi)設(shè)備有漏氣，應(yīng)逐一捉漏檢查，排除故障。

  SF6氣體回收裝置泵未經(jīng)拆卸清洗，突然出現(xiàn)撞擊聲，真空度下降，可檢查旋片彈簧是否折斷，或有無(wú)異物進(jìn)入泵內(nèi)。

  泵使用日久，真空度漸有下降，可能是潤(rùn)滑油混入可凝性氣體和潤(rùn)滑油裂介變質(zhì)，以及零件老化所致，可用換油、換零件，逐一試驗(yàn)。

  泵拆裝后，有大漏氣聲，可能是橡膠件裝配不當(dāng)，損壞，應(yīng)調(diào)整或更換。

  SF6氣體回收裝置排氣閥片老化變形、損壞或螺釘拉脫，會(huì)出現(xiàn)異樣氣聲和油面的顯著泛動(dòng)，也會(huì)影響真空度，應(yīng)調(diào)整重裝。

  以上措施均無(wú)效，又無(wú)漏氣聲，可能使用日久，零部件磨損或受腐蝕所致，也可能是轉(zhuǎn)子變形，精度降低，甚至轉(zhuǎn)子、旋片等零件損壞，應(yīng)拆開(kāi)檢查，修整或換上新零件。